電真空玻璃是制造電真空器件的主要材料之一,廣泛應(yīng)用于電子技術(shù)、微電子技術(shù)、激光和紅外技術(shù)、電光源、高能物理等方面,在宇航工業(yè)、能源、汽車工業(yè)、化學(xué)工業(yè)等領(lǐng)域有極其重要的作用。在需要耐高溫、高絕緣性、耐高頻、紅外透過或吸收以及防X射線等場合,電真空材料具有其他材料不可替代的作用,隨著近代微電子技術(shù)、光電子技術(shù)的發(fā)展,對電子器件的小型化和結(jié)構(gòu)元件的精密化方面的要求越來越高,進而對電真空玻璃制品的可靠性和品種的要求也日益增多,電真空玻璃的研究開發(fā)與產(chǎn)業(yè)化的發(fā)哦了快速的發(fā)展。
電真空玻璃在組成上大致可以分為有鉛玻璃和無鉛玻璃,電真空玻璃的化學(xué)組成主要特點是
1.有鉛玻璃基本屬于PbO-SiO2(B2O3、Al2O3)-MO-R2O體系,(M為堿土金屬離子,R為堿金屬離子),組成中化合物的種類相對較少,且PbO的含量較高。
2.無鉛玻璃主要包括硅酸鹽和磷酸鹽玻璃兩個體系,通常以堿金屬氧化物CaO、MgO、SrO、BaO等取代PbO。
3.無鉛玻璃引入Li2O以降低玻璃的高溫粘度,同時利用Li2O、Na2O、K2O的混合堿效應(yīng)提高其體積電阻率。
4.無鉛玻璃引入一定量CaO提高了玻璃的絕緣性,但CaO的引入量是玻璃脆性增加從而影響玻璃的后續(xù)加工性能。這可通過適量提高MgO及K2O含量或引入BaO、ZnO、TiO等氧化物來改善其加工性能。