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    石英玻璃需要怎樣清洗？

      新聞發(fā)布時(shí)間：2013-7-2新聞瀏覽次數(shù)：3250新聞作者：錦泰特種玻璃
    石英玻璃在半導(dǎo)體工業(yè)設(shè)備上，使用溫度經(jīng)常在1000℃至1300℃之高溫狀態(tài)，在此種狀態(tài)下由于附著不純物導(dǎo)致失透現(xiàn)象發(fā)生，失透之部分為石英之晶質(zhì)化，晶質(zhì)化之變態(tài)點(diǎn)為275℃，當(dāng)石英玻璃自高溫降至此變態(tài)溫度時(shí)，表面失透之晶質(zhì)化部分與石英玻璃本身高溫之α相與低溫之β相間膨脹系數(shù)不同在急速冷卻下產(chǎn)生不透明之剝離狀，更嚴(yán)重時(shí)會(huì)造成破裂現(xiàn)象產(chǎn)生。為使石英制品能使用更久，就必須注意防止造成石英失透產(chǎn)生的原因，而造成失透的污染源就屬堿金屬、堿土金屬、汗水、口水、油污、塵�！鹊取Ｇ�0.1mg/cm2l}k
    就會(huì)造成數(shù)十倍或數(shù)百倍的失透量。 因此，防止這些污染源附著在石英表面上除了不直接用空手去拿石英外，使用在高溫作業(yè)之前必先做清洗之工作以確保石英表面之潔凈度。
    一般石英之洗凈須要一些程序，首先用純水先沖洗表面，再置入酸洗槽內(nèi)浸泡一些時(shí)間，取出后再用純水沖洗后晾干。 酸液之種類如下：
    ◆ 種類/項(xiàng)目      濃度           時(shí)間
    ◆ 氟酸（HF）  47.0%~52.0%     1~2分鐘
    ◆ 氟酸（HF）   5.0%~10%      10~15分鐘
    ◆ 氟酸+硝酸    50%+65%       10~15分鐘
    ◆ 氟酸+硫酸    50%+65%       10~15分鐘
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