精餾是實(shí)現(xiàn)多級(jí)部分氣化和多級(jí)部分冷凝的實(shí)用技術(shù)。精餾提純是耐超高溫玻璃原料生產(chǎn)工藝中的一個(gè)重要工藝。在化學(xué)提純中,精餾提純是極為有效的重要方法之一。在硅的提純過程中,SiCl4、SiHCl3、SiH2Cl2、SiH4均可以采用精餾技術(shù)進(jìn)行提純。精餾是利用不同組分沸點(diǎn)不同,同一溫度下各組分蒸汽壓不同的特點(diǎn)進(jìn)行的,設(shè)備以板式塔為主,有泡罩塔、篩板塔和浮閥塔,另外還有填料塔,其中篩板塔和填料塔是SiCl4提純的重要設(shè)備。
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